本文共同第一作者葛睿来自上海交通大学先进光通信系统与网络国家重点实验室。文章聚焦薄膜铌酸锂光子晶体，综述其在制备、表征及应用*领域的最新进展：首先介绍铌酸锂材料本身具备的电光、非线性光学、声光、压电、光折变及热释电等优异特性，以及薄膜铌酸锂光子晶体“亚波长尺度约束光、利于片上器件集成”的优势；随后结合商业化铌酸锂绝缘体上芯片的发展背景，阐述高质量薄膜铌酸锂光子晶体的涌现，并从“指导器件研究”...
2026-03-23
一、常规颗粒检测手段原理明场检测基于光学反射与散射原理，采用平行光照射晶圆表面，正常区域反射光均匀，缺陷区域（如颗粒、划痕）因形貌变化导致散射或反射方向改变，通过分析反射光强度分布识别宏观缺陷。暗场检测则通过倾斜角度光源照射晶圆，仅收集缺陷产生的散射光（正常表面反射光不进入探测器），从而实现微小缺陷检测。其灵敏度通常低于15nm，可识别微小颗粒、表面粗糙度变化等。二、半导体膜厚检测相关设备椭...
2026-03-22
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