外延生长

金刚石作为碳元素构成,不仅是自然界中硬度最高的物质,更在光学领域展现出独特价值。金刚石的光学特性与其晶体结构和电子能带结构紧密相关。从晶体结构来看,它属于面心立方结构,每个碳原子通过sp3杂化与相邻4个碳原子形成共价键,碳碳键长约0.154nm,键能高达 345kJ/mol,这种紧密且稳定的结构,使得晶体内部缺陷少、杂质难以嵌入,当光线穿过时,较少因晶格缺陷发生散射,能保持较高的透过效率。从...

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高品质金刚石的核心技术,其通过微波激发等离子体实现碳原子在基底上的可控沉积。以下从工艺原理、关键技术、设备创新及应用突破等方面展开分析:一、工艺原理与核心机制1. 等离子体激发与反应路径微波能量耦合:2.45GHz 或 915MHz 微波通过谐振腔聚焦,在反应室内形成强电磁场,将氢气(H₂)和甲烷(CH₄)混合气体电离为等离子体,产生高活性氢原子(...

新加坡和比利时的研究人员报道称,在中度缩放的硅基氮化镓(GaN-on-Si)高电子迁移率晶体管(HEMTs)于30GHz工作时,实现了超过60%的创纪录峰值功率附加效率(PAE)[Yihao Zhuang等人,《IEEE电子器件快报》,2026年1月22日在线发表]。同时,这些器件还展现了业界领先的噪声系数(NF),最低仅为1.1dB。来自南洋理工大学、新加坡科技研究局(A*STAR)以及比...

做我们这一行,天天盯着真空计看。从大气压抽到本底,再充气到工作气压,这套流程闭着眼睛都能做。但是,你有没有想过,真空炉里到底是个什么状态?所谓的“真空PVD”到底是在干什么?今天我们不谈复杂的工艺参数,专门聊聊这个最基础、却又最迷人的“真空”概念。1.真空并不是真的“空”很多人直觉认为,真空就是里面什么都没有了。其实大错特错。即使是我们常用的高真空设备,抽到 5×10⁻³ Pa 这个级别,炉...

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