等离子体化学气相加工机（PCVM）

“等离子体化学蒸发纳米平坦化加工”是一种具有纳米级加工精度和不产生加工变质层（不损伤工件表面）等优异特性的技术。

对象加工；石英晶体片，晶振元器件

石英晶片（水晶）
尺寸；4英寸（100mm）
测试范围；直径100mm晶圆内领域
加工前厚度分布 TTV；102nm
加工后厚度分布 TTV；18nm