碳化硅/氮化镓研磨机

《高速旋转机构》

φ610毫米抛光台最高转速可达300转/分钟，实现高速研磨。即使是蓝宝石和碳化硅等硬质晶圆，也能获得出色的研磨效果。

《加工轴承机构》

我们配备了两个带有强制驱动旋转机构的加工轴，即使在高研磨压力下也能稳定旋转进行研磨。

《气缸加压机构》

研磨压力与研磨速度之间存在相关性。最大研磨压力可达300公斤，从而实现高研磨速度。此外，由于无需传统机器使用的重量负载，工件只需轻轻一触即可安装和拆卸。