高精密催化材料表面基准抛光机（CARE）

“催化材料表面基准蚀刻抛光技术”是一种具有0.1纳米级平坦化，表面质量高，环保高效等优异特性的技术。

催化材料表面基准蚀刻抛光机(CARE)特点
1. 利用金属催化反应，通过化学蚀刻实现原子级表面平坦化。
2. 该工艺环保，仅使用纯水，无需任何化学品或抛光液。
3. 在化学机械抛光(CMP) 等抛光工艺之后，“可获得原子级表面精度”，且“可获得无任何改变或改性层”。