研磨废水浓缩回收机

减薄/研磨/划片废液浓缩回收机
1. DCT系统具备可根据废液浓度，将半导体用抛光液（Slurry）废液及BG等各类研磨废液减
容至原体积的1/10至1/100。采用紧凑型设计，适用于既有工厂，无需额外空间，运行成
本低廉。
2. 回收水率70%以上，回收水直接再利用可以供给减薄机研磨机划片机

型号DCT-015030 参数（参考数据）
废液处理条件
处理量            15-30m3/日
废液浓度         0.1-2.0wt%
平均粒子径     ≥ 0.1 μm
处理功能
浓缩能力最大  30m3/日
浓缩倍率         10-100倍
浓缩液产出量  0.15-3m3/日
透过液产出量  13-27m3/日