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纳米涂层

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导热散热纳米涂层 --- （应用领域）芯片老化设备夹具、芯片COC测试设备夹具，GPU/CPU散热组件等

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防静电纳米涂层（ESD）--- （应用领域）半导体制程设备、检测量设备静电吸盘、真空吸盘

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非金属高硬绝缘涂层 --- （应用领域）半导体离子注入电极载具等零部件

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非金属耐腐耐磨纳米涂层 --- （应用领域）半导体PVD、PECVD、刻蚀设备真空泵转子、螺杆、密封板、内腔

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非金属耐磨防粘连纳米涂层 --- （应用领域）半导体密封圈模具、有机材料成型模具、各种塑胶、硅胶成型模具

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非金属耐磨纳米涂层 --- （应用领域）半导体CMP、ECMP设备及其他制程设备运动摩擦零部件

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